上世紀80年代初，在研制高速鋼工具氧氮共滲技術時，開始用低真空原理制造設備和試驗配套工藝(即低壓氧氮共滲技術)，工件在設定的低真空上限下限范圍內自行循環加熱，爐氣在設定的時間周期內自行反復吐故納新，解決了工件在滲氮、滲碳過程的密裝生產、爐氣老化、滲層均勻性等難題；根據適當增加爐壓可增加N、C原子滲速[2~4]，在低真空變壓的基礎上增加正壓變壓的工藝過程。這種先在低真空范圍變壓加熱，接著進行正壓變壓加熱的工藝及其設備稱為低真空變壓熱處理技術。爐膛在低真空至正壓大范圍變壓加熱，以中性氣體迅速置換爐膛中的空氣、水分等氧化物質，而后充以工藝規定的滲劑，使工件在設定的氣氛中加熱，加熱后如果在爐內冷卻即可實現無氧化、無脫碳淬火；如果加熱后在爐外冷卻，則工件從爐中取出時同空氣接觸，產生少量氧化而實現少無氧化加熱。

低真空變壓熱處理爐可實現優良的熱處理工藝，并具有清潔、節能、少無氧化、密裝生產、快速、高效等優點。

(1)加熱過程的低真空變壓，可借助中性氣體迅速排除爐膛中的空氣，而后再以少量的有機液體或液化氣消除爐膛中殘余氧和水蒸氣，實現工件的少無氧化加熱。輔料消耗比常規的可控氣氛爐(或保護氣氛爐)減少50%以上。

(2)化學熱處理時借助低真空變壓，滲劑可定向流動的特點，在迅速排除工件周圍的老化氣氛后，新鮮滲劑立即迅速擴散到爐膛各處，工件上的小孔、盲孔孔壁及壓緊面均可得到滿意的滲層，從而實現工件密裝生產。

(3)可將單一元素的爐氣迅速改變為兩類元素(強化型元素和潤滑型元素)的多元素共滲氣氛，并在質量上和數量上予以精控(質量上控制就是控制爐氣各成分的百分比，數量上控制就是控制爐氣的總壓力)。由于幾種元素同時滲入的互相促進作用，滲速加快，工藝周期明顯縮短。

(4)因爐壓適當提高可縮短滲氮和滲碳時間[2~4]，低真空變壓設備可隨時迅速把爐壓調至滲速最高的范圍，從而縮短工藝周期，實現快速、高效和低耗的化學熱處理。

(5)低真空變壓處理過程，可隨意改變爐氣成份，實現可控氣氛加熱。